真空元件：铜箔阱的概述
铜箔阱吸附油蒸气的现象是属于物理吸附过程，因而要求有较大的吸附表面。典型的铜箔阱如图7-12（a-c）所示。它是用厚0.76mm、宽152mm的无氧高导铜滚压成深0.63mm的波状板，再卷起来放在真空室和扩散泵之间的管道中做成的。真空室和铜箔阱经450℃高温去气后，在室温下，18d内可以维持10-9Pa的真空度，30d后压强升高到相当于扩散泵油的饱和蒸气压值（如图7-12(d)所示）。铜箔阱的串联、并联及铜箔阱长度与有效工作时间关系如图7-12所示。
根据图7-12(d)的实测数据，可以得出计算铜箔阱在1×10-7Pa以下的有效工作时间的经验公式
http://www.comvac.cn/uploadfile/2014/0428/20140428114419310.jpg
http://www.comvac.cn/uploadfile/2014/0428/20140428114445923.jpg
http://www.comvac.cn/uploadfile/2014/0428/20140428114536283.jpg
页:
[1]