真空蒸发镀膜原理
真空蒸发镀膜原理图如图10-1所示。http://www.comvac.cn/uploadfile/2014/0507/20140507015539591.jpg
将膜材置于真空室中,通过蒸发源加热使其蒸发,蒸气的原子或分子从蒸发源表面逸出,由于空间气体分子的平均自由程大于真空室的线性尺寸,因此很少与其它分子或原子碰撞,可直接到达被镀的基片表面上,凝结后形成薄膜。
在蒸发过程中的真空条件是:真空室中由膜材蒸发出来的原子(分子)平均自由程应大于蒸发源与基片之间的距离。
页:
[1]