bjtaiyueheng 发表于 2015-10-28 13:47:13

泰岳恒TYFB-3600分子泵



一、TYFB-3600涡轮分子泵 1.1概述TYFB-3600涡轮分子泵是通过多级动、静涡轮叶片相对高速旋转实现抽气的一种机械式真空泵。此涡轮分子泵具有在分子流区域内时抽速大、压缩比高的特点,且比扩散泵节能、无油蒸汽污染。TYFB-3600涡轮分子泵是目前国内抽速最大的分子泵,其动叶轮采用变截面加工,强度高、重量轻,泵性能更可靠、更稳定。此分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应,由于对分子量大的气体有很高的压缩比,因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其广泛应用于电子、冶金、化工、科研及真空技术的各个领域。
file:///C:/Users/ADMINI~1/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image002.jpg为了您能更好的了解和使用分子泵请仔细阅读本使用说明书
1.2结构特点TYFB-3600涡轮分子泵采用进口精密陶瓷轴承支撑,冷却方式为水冷,冷却水温必须低于20℃。该泵转子经过整机动平衡,运转平稳可靠,电机为鼠笼式三相电机,轴承润滑采用锥孔轴自吸油润滑,简易可靠,但也决定了分子泵只能垂直安装。file:///C:/Users/ADMINI~1/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image004.jpg图-1   TYFB-3600涡轮分子泵结构简图2、技术说明2.1技术参数TYFB-3600涡轮分子泵结构简图见图-1,技术数据见表-1,抽速曲线见图-2,对氮气及氢气的压缩比见图-3。
表-1    TYFB-3600涡轮分子泵技术参数表
型号TYFB-3600
进气口法兰400 ISO-K
排气口法兰100 ISO-K
抽气速率(L/S)(对空气)3600
压缩比N2>108
H2>6X102
极限压强(Pa)<2×10-6
额定转速(rpm)12600
使用轴承进口陶瓷轴承
振动值(μm)≤0.15
启动时间(min)<10
停机时间(min)<20
建议采用的前级泵(L/S)30-70
冷却方式水冷
冷却水温度(℃)≤20
冷却水流量(L/min)1
泵体烘烤温度(℃)<80
环境温度(℃)5-40
安装方向垂直±5°
泵重量(kg)≈100
   file:///C:/Users/ADMINI~1/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image006.jpg                                        图-2 TYFB-3600涡轮分子泵抽速曲线file:///C:/Users/ADMINI~1/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image008.jpg图-3 TYFB-3600涡轮分子泵对氮气及氢气的压缩比曲线2.2安装尺寸TYFB-3600涡轮分子泵高真空连接法兰400 ISO-K 尺寸见图-4,前级连接法兰100 ISO-K尺寸见图-5,安装尺寸见图-6。file:///C:/Users/ADMINI~1/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image010.jpg图-4   TYFB-3600涡轮分子泵高真空连接法兰(400 ISO-K)尺寸简图file:///C:/Users/ADMINI~1/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image012.jpg图-5 TYFB-3600涡轮分子泵前级连接法兰(100 ISO-K)尺寸简图 file:///C:/Users/ADMINI~1/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image014.jpg file:///C:/Users/ADMINI~1/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image016.jpg     图-6   TYFB-3600涡轮分子泵安装尺寸简图
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