littlegun2000 发表于 2013-12-25 17:03:11

如何识别真空泵真空值大小

如何识别真空泵真空值大小

tts_moon 发表于 2013-12-25 17:12:04

铭牌上面有所能达到极限真空
不过通常选型的时候,要选择比你所需极限真空小一个数量级的泵

真空泵种类 工作压强范围(Pa) 起动压强(Pa)   
活塞式真空泵 1×105~1.3×102 1×105   
旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105   
水环式真空泵 1×105—2.7×103 1×105   
罗茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103   
涡轮分子泵 1.3—1.3×10-5 1.3   
水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105   
油扩散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10   
油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105   
分子筛吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105   
溅射离子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1   
钛升华泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2   
锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10   
低温泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1
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