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标题: 真空镀膜：蒸发源的概述 [打印本页]

作者: Craoline1224 时间: 2014-5-10 06:25
标题: 真空镀膜：蒸发源的概述
　　真空镀膜中，镀膜机常用的蒸发源有电阻式加热蒸发源、电子束式加热蒸发源、空心热阴极等离子束蒸发源、感应式加热蒸发源。
　　
　　在设计蒸发源时，需注意事项是：①蒸发源要使膜材有较高的蒸发率，并能存贮足够的膜材；②蒸发率易控制；③长时间工作稳定性要好；④蒸发源需有较长的寿命，可靠性要高；⑤运转费用低，易于维护。从蒸镀材料方面来讲，蒸发源应能够蒸镀Al、Ti、Fe、Co、Cr及其合金，以及Si0、Si02、MgF、ZnS等。

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