真空系统设计部件

tts_moon

请问在真空系统中除了真空泵还需要有闸阀\温度计\管道泵\阻液器等等.谁能举个例子,哪方面都行,最好举个详细的例子,介绍一下还需要哪些部件,它们的功能是干什么的?越详细越好!跪求!

littlegun2000

一个真空系统，必须要有真空获得的设备和真空度的测量仪器。目前常用的真空获得设备主要有旋片式真空泵、水环式真空尖、滑阀式真空泵、油扩散泵、涡轮分子泵、离子溅射泵、升华泵等。真空测量仪器主要有U型真空计、热传导真空计、电离真空计等。随着电子技术和计算机技术的发展，各种真空获得设备向高抽速、高极限真空、无污染方向发展。各种真空测量设备与微型计算机相结合，具有数字显示、数据打印、自动监控和自动切换量程等功能。