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标题: 如何识别真空泵真空值大小 [打印本页]

作者: littlegun2000 时间: 2013-12-25 17:03
标题: 如何识别真空泵真空值大小
如何识别真空泵真空值大小

作者: tts_moon 时间: 2013-12-25 17:12
铭牌上面有所能达到极限真空
不过通常选型的时候，要选择比你所需极限真空小一个数量级的泵

真空泵种类工作压强范围（Pa）起动压强（Pa）　　
活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105 　　
旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105 　　
水环式真空泵 1×105—2.7×103 1×105 　　
罗茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103 　　
涡轮分子泵 1.3—1.3×10-5 1.3 　　
水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105 　　
油扩散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10 　　
油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105 　　
分子筛吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105 　　
溅射离子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1 　　
钛升华泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2 　　
锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10 　　
低温泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1

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