真空角阀尺寸及性能参数

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　　真空角阀是用于低、高、超高真空系统中的前级泵的配套元件。沈阳中科仪技术发展有限责任公司生产的CD-J型真空角阀按法兰密封形式分为真空角阀（氟橡胶密封）及全金属角阀（无氧铜垫密封）二种，阀体为不锈钢，阀传动密封采用波纹管密封形式，避免了传劫杆运动时的漏气。其外形尺寸及技术性能参数见表7-85、表7-86。