真空镀膜：电阻式加热蒸发源

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　　真空镀膜中，镀膜机常用的蒸发源有电阻式加热蒸发源、电子束式加热蒸发源、空心热阴极等离子束蒸发源、感应式加热蒸发源。
　　
　　其中，电阻加热式蒸发源实际上就是一个电阻加热器，它是利用发热体通电后，产生焦耳热而获得高温，以此来熔融膜材使其达到蒸发的目的。由于这种源结构简单，操作方便，成本低廉，材料易于获得，因此，在镀膜技术中得到了广泛的应用。
　　
　　(1)丝状源与舟状源

　　
　　用难熔金属制成的丝状或舟状电阻源是目前应用最广泛的一处蒸发源。其金属丝、锥形筐和线圈可以是单股线的或多股线的。图10-2为丝状源简图，图10-3为舟状源简图。
　　
　　目前用于电阻加热式热源的材料有W、Ta、Mo、Nb等高融点金属，有时也用Fe、Ni、Ni-Cr合金等，其中最常用的是钼片和钨丝。
　　
　　(2)铝蒸发用坩埚加热器。在真空镀膜技术中，蒸友铝材占有重要的地位。在电子工业，光学零件特别是轻工业中蒸镀铝膜是非常普遍的。
　　
　　①石墨坩埚加热器。一般认为，连续式蒸发设备所使用的蒸发源应具备的性能是：蒸发效率应足够高；使用寿命应足够长；坩埚与蒸发材料不发生反应；能长时间稳定地蒸发并能自动补充蒸发材料。根据这些要求，目前所采用的加热方式有电阻加热、高频加热和电子束加热。在大多数镀铝设备中，采用最多的还是直接通电的电阻加热蒸发源。蒸发源所用的坩埚材料一般为难熔金属(如W、Mo、Ta)和石墨。前者多用于间歇式蒸发设备中，后者多用于连续式蒸发设备中。
　　
　　②氮化硼合成导电陶瓷加热器。为了获得比石墨更加理想的蒸发器材料，在真空镀膜设备中，广泛采用了一种新的蒸发器，即氮化硼合成导电陶瓷加热器。这种加热器是由耐腐蚀、耐热性能优良的氧化物、硼化物等材料通过热压、涂敷而成的一种具有导电性的陶瓷材料。