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真空元件:铜箔阱的概述

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发表于 2014-4-30 06:31:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
  铜箔阱吸附油蒸气的现象是属于物理吸附过程,因而要求有较大的吸附表面。典型的铜箔阱如图7-12(a-c)所示。它是用厚0.76mm、宽152mm的无氧高导铜滚压成深0.63mm的波状板,再卷起来放在真空室和扩散泵之间的管道中做成的。真空室和铜箔阱经450℃高温去气后,在室温下,18d内可以维持10-9Pa的真空度,30d后压强升高到相当于扩散泵油的饱和蒸气压值(如图7-12(d)所示)。
  
  铜箔阱的串联、并联及铜箔阱长度与有效工作时间关系如图7-12所示。
  
  根据图7-12(d)的实测数据,可以得出计算铜箔阱在1×10-7Pa以下的有效工作时间的经验公式



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