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真空元件:前级预抽管道低温吸附阱

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发表于 2014-5-3 06:40:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
  预抽中,当压力降到粘滞一分子流状态的压力时(-2Pa,U= 10L/s,则Q=1×10-1Pa·L/S,此值相当于每秒几微克的油返流到真空系统。假设真空系统的面积1000cm2油将以0.1单分子层/S的速率淀积在表面上。为防止机械泵油的污染,通常采用的措施是:

  ①前级管道中加装液氮冷阱、分子筛吸附阱、活性氧化铝阱等来阻挡机械泵油蒸气的返流;
  
  ②用纯净氮气冲洗。机械泵抽到10Pa左右以后马上关闭机械泵,启动分子筛低温吸附泵预抽。
  
  图7-29为前级管道阱结构;图7-30为各种前级管道抽气时间特性。图7-31为两种类型的氮气纯化器的流程图。
  
  氮纯化器操作程序:打开纯化器A和B,启动机械泵预抽,控制流量使管道内气体状态为粘滞流,容器和管道中吸附的二氧化碳和水蒸气及其它污染物被干净纯化氮气流带走。纯化半小时后,关闭纯化器A,管道上低温吸附阱中充入液氮,并关闭纯化器B,抽到10Pa压力后,关闭预抽机械泵,继续用低温吸附阱抽气。


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