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真空元件:钛升华阱的概述

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发表于 2014-5-3 06:13:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
  液氮冷阱虽能有效地降低泵油返流,但是少量的油蒸气分子仍然可以穿过冷阱.此外,泵油的裂解物中有大量氢气,它不能被液氮冷阱捕获,成为限制扩散泵获得更高真空的一个主要因素。在扩散泵和真空室之间加装钛升华阱,除能挡住油分子及其它裂解物的返流外,还能捕集氢。因此,装有钛升华阱的超高真空系统,能获得10-11Pa—l0-12Pa的极限压力。
  
  典型钛升华阱的结构型式如图7-26~图7-28所示。
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