康沃真空网论坛 bbs.comvac.cn

 找回密码
 立即注册
查看: 4670|回复: 0

真空元件:钛升华阱的概述

[复制链接]

22

主题

29

帖子

120

积分

注册会员

Rank: 2

积分
120
发表于 2014-5-3 06:13:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
  液氮冷阱虽能有效地降低泵油返流,但是少量的油蒸气分子仍然可以穿过冷阱.此外,泵油的裂解物中有大量氢气,它不能被液氮冷阱捕获,成为限制扩散泵获得更高真空的一个主要因素。在扩散泵和真空室之间加装钛升华阱,除能挡住油分子及其它裂解物的返流外,还能捕集氢。因此,装有钛升华阱的超高真空系统,能获得10-11Pa—l0-12Pa的极限压力。
  
  典型钛升华阱的结构型式如图7-26~图7-28所示。
回复

使用道具 举报

您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册

本版积分规则

QQ|Archiver|手机版|康沃真空网论坛 ( 陕ICP备12001613号-9 )

GMT+8, 2024-3-29 19:21 , Processed in 0.086783 second(s), 21 queries .

快速回复 返回顶部 返回列表