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真空镀膜:蒸发源的概述

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发表于 2014-5-10 06:25:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
  真空镀膜中,镀膜机常用的蒸发源有电阻式加热蒸发源、电子束式加热蒸发源、空心热阴极等离子束蒸发源、感应式加热蒸发源。
  
  在设计蒸发源时,需注意事项是:①蒸发源要使膜材有较高的蒸发率,并能存贮足够的膜材;②蒸发率易控制;③长时间工作稳定性要好;④蒸发源需有较长的寿命,可靠性要高;⑤运转费用低,易于维护。从蒸镀材料方面来讲,蒸发源应能够蒸镀Al、Ti、Fe、Co、Cr及其合金,以及Si0、Si02、MgF、ZnS等。
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