泰岳恒TYFB-3600分子泵

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一、TYFB-3600涡轮分子泵

1.1概述

TYFB-3600涡轮分子泵是通过多级动、静涡轮叶片相对高速旋转实现抽气的一种机械式真空泵。此涡轮分子泵具有在分子流区域内时抽速大、压缩比高的特点，且比扩散泵节能、无油蒸汽污染。TYFB-3600涡轮分子泵是目前国内抽速最大的分子泵，其动叶轮采用变截面加工，强度高、重量轻，泵性能更可靠、更稳定。

此分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应，由于对分子量大的气体有很高的压缩比，因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其广泛应用于电子、冶金、化工、科研及真空技术的各个领域。

  

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为了您能更好的了解和使用分子泵请仔细阅读本使用说明书

1.2结构特点

TYFB-3600涡轮分子泵采用进口精密陶瓷轴承支撑，冷却方式为水冷，冷却水温必须低于20℃。该泵转子经过整机动平衡，运转平稳可靠，电机为鼠笼式三相电机，轴承润滑采用锥孔轴自吸油润滑，简易可靠，但也决定了分子泵只能垂直安装。

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图-1   TYFB-3600涡轮分子泵结构简图

2、技术说明

2.1技术参数

TYFB-3600涡轮分子泵结构简图见图-1，技术数据见表-1，抽速曲线见图-2，对氮气及氢气的压缩比见图-3。

表-1    TYFB-3600涡轮分子泵技术参数表
型号		TYFB-3600
进气口法兰		400 ISO-K
排气口法兰		100 ISO-K
抽气速率(L/S)(对空气)		3600
压缩比	N2	>108
	H2	>6X102
极限压强(Pa)		<2×10-6
额定转速(rpm)		12600
使用轴承		进口陶瓷轴承
振动值（μm）		≤0.15
启动时间(min)		<10
停机时间(min)		<20
建议采用的前级泵（L／S）		30-70
冷却方式		水冷
冷却水温度（℃）		≤20
冷却水流量(L/min)		1
泵体烘烤温度（℃）		<80
环境温度（℃）		5-40
安装方向		垂直±5°
泵重量(kg)		≈100

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                          图-2 TYFB-3600涡轮分子泵抽速曲线

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图-3 TYFB-3600涡轮分子泵对氮气及氢气的压缩比曲线

2.2安装尺寸

TYFB-3600涡轮分子泵高真空连接法兰400 ISO-K 尺寸见图-4，前级连接法兰100 ISO-K尺寸见图-5，安装尺寸见图-6。

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图-4   TYFB-3600涡轮分子泵高真空连接法兰（400 ISO-K）尺寸简图

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图-5 TYFB-3600涡轮分子泵前级连接法兰（100 ISO-K）尺寸简图

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图-6   TYFB-3600涡轮分子泵安装尺寸简图