一、TYFB-3600涡轮分子泵 1.1概述 TYFB-3600涡轮分子泵是通过多级动、静涡轮叶片相对高速旋转实现抽气的一种机械式真空泵。此涡轮分子泵具有在分子流区域内时抽速大、压缩比高的特点,且比扩散泵节能、无油蒸汽污染。TYFB-3600涡轮分子泵是目前国内抽速最大的分子泵,其动叶轮采用变截面加工,强度高、重量轻,泵性能更可靠、更稳定。 此分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应,由于对分子量大的气体有很高的压缩比,因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其广泛应用于电子、冶金、化工、科研及真空技术的各个领域。 file:///C:/Users/ADMINI~1/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image002.jpg | 为了您能更好的了解和使用分子泵请仔细阅读本使用说明书 |
1.2结构特点 TYFB-3600涡轮分子泵采用进口精密陶瓷轴承支撑,冷却方式为水冷,冷却水温必须低于20℃。该泵转子经过整机动平衡,运转平稳可靠,电机为鼠笼式三相电机,轴承润滑采用锥孔轴自吸油润滑,简易可靠,但也决定了分子泵只能垂直安装。 file:///C:/Users/ADMINI~1/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image004.jpg 图-1 TYFB-3600涡轮分子泵结构简图 2、技术说明 2.1技术参数 TYFB-3600涡轮分子泵结构简图见图-1,技术数据见表-1,抽速曲线见图-2,对氮气及氢气的压缩比见图-3。 file:///C:/Users/ADMINI~1/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image006.jpg 图-2 TYFB-3600涡轮分子泵抽速曲线 file:///C:/Users/ADMINI~1/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image008.jpg 图-3 TYFB-3600涡轮分子泵对氮气及氢气的压缩比曲线 2.2安装尺寸 TYFB-3600涡轮分子泵高真空连接法兰400 ISO-K 尺寸见图-4,前级连接法兰100 ISO-K尺寸见图-5,安装尺寸见图-6。 file:///C:/Users/ADMINI~1/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image010.jpg 图-4 TYFB-3600涡轮分子泵高真空连接法兰(400 ISO-K)尺寸简图 file:///C:/Users/ADMINI~1/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image012.jpg 图-5 TYFB-3600涡轮分子泵前级连接法兰(100 ISO-K)尺寸简图 file:///C:/Users/ADMINI~1/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image014.jpg file:///C:/Users/ADMINI~1/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image016.jpg 图-6 TYFB-3600涡轮分子泵安装尺寸简图
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